260mm透明石英玻璃管材通過部級鑒定

    由中國建筑材料聯(lián)合會科技教育委員會、清華大學、中國電子材料行業(yè)協(xié)會、中國建筑玻璃與工業(yè)玻璃協(xié)會、中國建筑材料科學研究總院、中國建筑材料檢驗認證中心、上海強華石英有限公司、北京中關村科技園區(qū)管委會等單位的9名相關人士組成的鑒定小組，對江蘇省連云港市東海縣宏偉石英制品有限公司提出的“半導體產業(yè)用直徑260毫米透明石英玻璃管材研制與應用”籌備了項目鑒定會。在鑒定會上，相關人士們通過參觀生產現(xiàn)場、閱讀申報資料、聽取研究報告和查新資料、相關人士質疑、申報單位答辯等多個環(huán)節(jié)后，相關人士鑒定小組一致通過了部級新產品和其科技成果的鑒定。

    與會相關人士通過對生產現(xiàn)場的考察和會議討論，一致認為東海縣宏偉石英制品有限公司對用連熔工藝制備直徑200—260毫米大規(guī)格石英玻璃管核心技術及其設備的優(yōu)化設計，開展了大量研發(fā)工作，攻克了一系列的關鍵技術。

    其成果的突出創(chuàng)新點是：1、在石英原料的提純加工技術上，采用了四組化學浮選法，提純后的石英原料純度達到99.99%，13種雜質元素總含量小于20ppm；2、在大尺寸直徑540毫米鎢坩鍋和成形器的結構優(yōu)化設計與匹配技術以及物料、氣控、水控、電控系統(tǒng)的均衡上創(chuàng)新了優(yōu)化配置技術；3、直徑200—260毫米高質量透明石英管材具有規(guī)格尺寸大、純度和精度高、質量一致性好等特點，填補了國內同類產品的空白，產品的主要技術性能指標達到了全部同類產品先進水平。

    集成電路作為信息產業(yè)的基礎和高新技術產業(yè)的重中之重，半導體產業(yè)是國家信息產業(yè)科技發(fā)展“十一五”規(guī)劃和“2020年中長期規(guī)劃綱要”的要點發(fā)展領域。大規(guī)格石英玻璃管材已成為半導體產業(yè)發(fā)展不可缺少的重要產品之一。目前國內集成電路產業(yè)需求大規(guī)格石英玻璃管材，大部分從美國進口。而此次通過鑒定的半導體產業(yè)用透明石英玻璃擴散管材產品，攻克了連熔爐拉制外徑大于260毫米以上大規(guī)格石英玻璃管材的難題，特別在連熔爐關鍵技術裝備的集成創(chuàng)新上，掌握了生產大規(guī)格石英玻璃管的成套技術，充分體現(xiàn)了企業(yè)的自主創(chuàng)新能力和水平。
這次鑒定會由中國建筑材料聯(lián)合會科技部籌備并主持。