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噴涂制備金屬靶是利用電弧將靶材材料加熱到熔融或半熔融狀態,借助高速氣體將其霧化,形成小的熔滴,并加速噴射到襯管或襯板表面,快速冷卻凝固成金屬涂層靶材的過程。非金屬和陶瓷靶通常是利用等離子加熱粉末材料的方法噴涂制成。靶材熔鑄技術可分為三種不同的澆鑄形式:無襯管或襯板的整體式甩帶澆鑄、有襯管或襯板的直接澆鑄、分段甩帶澆鑄再粘結成靶材(Ag等)。
熱噴涂和熔鑄靶材不同的生產過程決定了不同的成本構成。熱噴涂靶材的生產成本隨靶材厚度的增加而加大,噴涂靶材可以通過調整噴涂工藝獲得不同的靶材尺寸,噴涂的時間、消耗的氣體和能量是影響其成本的主要因素。而熔鑄旋轉靶材的成本隨厚度變化較小,靶材先熔鑄成型,而后機械加工達到尺寸要求。對于不同尺寸的旋轉靶材,其原材料和加工成本基本是固定的。
國外企業大多使用的是噴涂工藝的旋轉陰較靶材,靶材的利用率高,可以到達80%,因而大量節約鍍膜成本,噴涂旋轉靶材在鍍膜行業得到了廣泛應用。

以這款噴涂的旋轉硅鋁靶為例: 旋轉硅鋁靶 Rotatable SiAl Alloy target 應用:用于制作SiO2膜、Si3N4膜,主要用于光學玻璃AR膜系,Low-E玻璃膜系,半導體電子, TFT, 平面顯示. 觸摸屏玻璃 產品化學成分和物理性能: 化學式:SiAl成分: SiAl(90:10wt%±2%、25:75wt%) 成型工藝:噴涂 密度: >2.2g/cm3(>94%) 純度: > 99.9% 雜質含量 (單位: ppm, 總雜質含量≤ 1000ppm) 加工尺寸 長度L 4000MM 厚度T 6-13MM 直型、狗骨型 按客戶要求定做

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