旭硝子開發出再布線層用感光性絕緣膜

來源：日經BP社 2008/12/16 0:00:00

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旭硝子面向半導體制造工序中的再布線層，新開發出了感光性絕緣膜“AL Polymer X2000系列”。通過均衡實現熱特性、電氣特性及機械特性，提高了易用性。將用作鈍化絕緣膜，在其上再布線及設置電較等。

　　該絕緣膜采用旭硝子的氟化學技術開發而成。兼具可不向元器件施加負擔的低溫硬化特性（熱處理溫度＋180～250℃）、可提高速度的低介電率特性（相對介電率2.6～2.7）以及可提高接合可靠性的高拉伸特性（伸度20％）。此外，還具有高解像度、平坦及低吸水性，因此可用于趨于微細化及高速化的半導體電路的開發及制造。

　　本品將在旭硝子的千葉工廠進行生產，2009年1月開始銷售。

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