玻璃底板上涂布保護膜的無旋轉涂布技術

來源：作者：佚名 2004/7/13 9:10:00

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東京應化工業在東京舉辦的展會上展示了通過無旋轉涂布在第七代玻璃底板上涂布保護膜的樣品。玻璃底板的尺寸為1870mm×2200mm。該公司表示：“這是在支持第七代生產線的量產版無旋轉涂布設備的靠前號機上試制的”。

　　該公司此次開發的支持第七代生產線的無旋轉涂布設備，實現了和此前支持第五代設備一樣的制程時間（Tact Time）。使用支持第五代生產線的設備時50mm/秒的速度，此次提高到了150～200mm/秒。該公司計劃2004年9月開始供應這一支持第七代生產線的保護膜涂布設備。

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