玻璃基板和蒸鍍成膜可制可彎曲柔性基板

【中玻網】“柔性基板上的成膜要用涂布工藝”，或者“玻璃基板不能使用卷對卷工藝”等定見，其實是不正確的。例如，將脂膜及金屬箔以卷對卷方式卷繞，并以真空蒸鍍成膜的技術10多年前就有了(圖A-1)。而且一直主要用于柔性印刷布線基板、觸摸面板及透明導電薄膜等的制造。“還曾有過在一口氣就能吹走的1.2μm厚薄膜上成膜的例子”(洛克技研工業代表董事巖永淳一)。在海外，德國弗勞恩霍夫研究所(FraunhoferInstitute)也在用與洛克技研工業相同但尺寸更大的裝置開發農業生產體系EL照明面板。

    較近，柔性基板的隊伍中又增加了“玻璃”這位新成員。大日本印刷在2012年6月的顯示器技術全部會議“SID2012”上，發布了在柔性玻璃上以卷對卷方式形成彩色濾光片的技術。將玻璃的厚度減至50～70μm，便可在一定程度上彎曲。并在其上利用以往的光刻技術形成圖案。雖然目前彎曲時的機械強度似還存在課題，但將來肯定會成為樹脂膜的強勁競爭對手。
　　
　　這類技術很難區別是傳統的半導體技術還是廣義的印刷電子。但開發新元件的選擇范圍得以大幅擴展這一點是毫無疑問的。