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真空鍍膜首先是應用于光學領域,二戰中德國人首先采用真空蒸發鍍膜法鍍制了大量的光學鏡片應用于軍事望遠鏡和瞄準鏡,并一直發展到高透過率、高反射率、分光過濾等現代光學玻璃鍍膜應用;在另一真空鍍的應用領域:新興的電子行業,真空鍍膜法被大量應用于電阻、電容和半導體的制造,后來這一技術又逐漸發展成為集成電路和微電子器件的細微加工領域,并一直應用到現在;同樣新興的材料改性也需要提供大量具有特殊性能的工程材料,而在材料改性和薄膜技術方面真空電鍍又是走在了技術的,特別是在高腐蝕、高耐溫、高度度、高潤滑等領域,真空鍍膜法有其強大的技術優勢并將一直發展下去。
伴隨著真空電鍍設備和技術的不斷改進,加工成本的不斷降低硅鋁旋轉靶材,特別是自70年代后期磁控濺射鍍膜工藝和設備的發展,越來越多的真空鍍膜加工被應用到裝飾+防腐領域,特別是在一些高等消費品的表面裝飾已經可以看到真空電鍍的應用了。
靶材供應品種:銀(Ag)靶、Cr靶、Ti靶、鎳鉻(NiCr)靶、鋅錫(ZnSn)靶、硅鋁(SiAl)靶、氧化鈦(TixOy)靶等。靶材在玻璃上的另一個重要應用是制備汽車后視鏡,主要是鉻靶、鋁靶、氧化鈦靶等。隨著汽車后視鏡檔次要求的不斷提高,很多企業紛紛從原來的鍍鋁工藝轉成真空濺射鍍鉻工藝。
旋轉銀靶,作為旋轉靶中的杰出代表,在各種鍍膜中起著較其重要的作用,尤其在玻璃鍍膜中應用廣泛。旋轉銀靶鍍出來的產品,其結構分布更均勻,致密度更高,更適合生產高等產品。其換靶的周期更長,更能提高鍍膜企業的生產效率,降低其生產成本,在國外已得到廣泛的應用。
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