高壓微霧加濕在液晶玻璃基板生產中的應用

【中玻網】鉑金通道是液晶玻璃基板生產的重要設備，對玻璃液起著澄清、均化以及降溫的作用。為避免鉑金通道內因水解反應產生氣泡，鉑金通道外圍需設置專項使用恒溫恒濕間，保持恒定高溫高濕環境，提高恒溫恒濕間含水量以達到提高鉑金管壁周圍空氣含水量的目的。為了提升恒溫恒濕間溫濕度的穩定性和濕度調整的能力，在原有空調系統基礎上引入高壓微霧加濕系統，二者相互補充，不僅保證了穩定的高溫高濕環境，同時也降低了生產成本。本文就高壓微霧加濕系統的設備組成、工作原理、系統運用、系統特點等方面進行介紹，為高壓微霧加濕系統在液晶玻璃基板恒溫恒濕間應用推廣提供一定的借鑒。

　　原有空調系統工藝流程：原有空調系統為工業空調機組配加濕系統，采用飽和蒸汽進行加濕，為干蒸汽加濕。恒溫恒濕間為內熱型區域，空調回風較送風溫度一般有5～10℃的溫升，而空調機組的新風取自空調機房的室內空氣（溫度較高），為了達到恒溫恒濕間溫度的要求，就必須開啟冷凍水對混合空氣進行降溫，增加了額外冷凍水的消耗。恒溫恒濕間原有空調系統工藝流程示意圖如圖1所示。

圖1恒溫恒濕間原有空調系統工藝流程示意圖

　　分析恒溫恒濕間相關運行數據，為了滿足送風溫度的要求，其空調系統均需要持續加濕并利用冷凍水對混合風降溫，因此加濕系統采用冷霧加濕方式，從而達到加濕、降溫的運行。冷霧加濕為等焓加濕，即加濕前后的空氣熱焓值保持不變（能量守恒）。各種加濕方式的主要特征比較如表1所示。綜合各種加濕方式特點、設備安裝維護方便性以及現場條件滿足情況，高壓微霧加濕是好的選擇。

　　表1各種加濕方式的主要特征比較

　　高壓微霧加濕原理：利用柱塞泵將凈化處理過的水加壓至5～7 MPa，通過高壓水管將加壓后的水傳送到“超微孔”的噴嘴，水經霧化后以3～10 mm的微霧噴射到所需空間，水霧在空氣中吸收熱量，從液態變成氣態并擴散，使空間濕度得到加大，并達到降低空氣溫度的目的。高壓微霧加濕噴霧實際應用場景如圖2所示。

圖2高壓微霧加濕噴霧實際應用場景

　　高壓微霧加濕系統主要由不銹鋼水箱、高壓微霧泵站、高壓微霧噴頭（噴頭組件、噴桿、各種閥門）、擋水板、接水盤、溫濕度傳感器、管路系統等組成。高壓微霧加濕系統工藝流程示意圖如圖3所示。

圖3高壓微霧加濕系統工藝流程示意圖

　　高壓微霧加濕系統的實際運用：恒溫恒濕間屬于高溫高濕環境，對溫度和濕度的穩定性要求非常高。引入高壓微霧加濕系統后，由高壓微霧加濕系統與蒸汽相互補充，為恒溫恒濕間提供濕度（高壓微霧加濕系統的加濕量大小主要通過開啟或關停相應的噴頭數量來控制，控制精度較低），而溫度仍由原工業空調機組通過調整冷熱水開度來控制。高壓微霧加濕系統實際運用如圖4所示。

圖4高壓微霧加濕系統實際運用示意圖

　　高壓微霧加濕系統特點：①霧細。高壓噴嘴每秒能產生數億個較微小的霧滴，加濕效率高，同時能達到降溫、除塵的效果；②系統簡單、可靠。高壓微霧加濕系統主要由主機、管道、噴頭組成，自動化程度高，故障率低，后期幾乎沒有維護保養工作，降低了人員的工作量；③安裝方便，節約空間，噴頭可以根據空間靈活布置。

　　目前高壓微霧加濕系統在實際應用中主要的問題為加濕效率較低，加濕區域底部接水盤的水量較多，雖然水的霧化率較高，但是終被有效用于加濕的純水較少，實際純水利用率較低。

　　高壓微霧加濕系統在液晶玻璃基板恒溫恒濕間的應用無疑是成功的。在工藝方面，通過高壓微霧加濕系統與原有工業空調機組結合使用，恒溫恒濕間溫濕度穩定性和控制精度均能符合工藝要求，同時在現有的蒸汽條件下，濕度調節的能力得到足夠的提升；在節能降耗方面，由于蒸汽以及冷凍水的使用量得到有效的降低，每年單線可以降低成本約10萬元。對于微霧加濕系統的不足之處要持續優化和改進，加強高壓微霧加濕系統的應用效果。