無人工廠：一塊玻璃“千錘百煉”變身液晶顯示屏

【中玻網】

核心提示：一塊毫不起眼的玻璃，搖身一變，成為價值千金的液晶顯示屏。在東湖高新區的TCL武漢華星光電，是武漢“光芯屏端網”萬億產業陣列中的重要成員，這里每天都上演著玻璃晉升顯示屏的奇妙旅程，但比奇妙旅程更奇的，是這個車間幾乎沒有一個人。

一塊塊玻璃被機械手臂運送到一臺臺設備里

一塊毫不起眼的玻璃，搖身一變，成為價值千金的液晶顯示屏。在東湖高新區的TCL武漢華星光電，是武漢“光芯屏端網”萬億產業陣列中的重要成員，這里每天都上演著玻璃晉升顯示屏的奇妙旅程，但比奇妙旅程更奇的，是這個車間幾乎沒有一個人。

11月8日，長江日報記者經過特許，走進武漢華星無塵車間，探訪第六代LTPS（低溫多晶硅）液晶顯示面板智能生產線（t3項目）。

走進建筑面積約40萬平方米，相當于五六個足球場大小的巨無霸廠房，穿上嚴實的連體無塵服，洗手烘干，戴上手套后再次洗手烘干，踩過粘塵墊，穿過風淋室吹風除塵后，液晶面板生產線映入眼簾：約10米高的廠房因光照顏色的不同，被分為白光區和黃光區，一眼望不到頭，一臺臺大型先進設備擺放在無塵車間內。

相比傳統生產車間火花飛濺、機械轟鳴的嘈雜環境，TCL華星的生產車間像一個圖書館。潔凈的廠房，大型智能化機臺，極少數的操作工人，整個車間既安靜又潔凈。

在白光區，一塊塊1.5米×1.85米的玻璃被機械手臂運送到一臺臺設備里，通過準分子激光退火等手段，將非晶硅結構的玻璃基板變為多晶硅結構。“這里有核心的低溫多晶硅技術。整個處理過程都是在近600℃的高溫中完成。你看，準分子激光退火程序就是在那個黑色的機器里完成。”陪同記者的制造部工程師指著其中一臺設備說。

經過成膜處理的玻璃基板被送入黃光區。“曝光是液晶顯示屏的核心工藝。為了防止廠房內照明用的白燈中的藍光造成光阻膠提前曝光，需要在黃 色燈光下完成。”工程師解釋說。

在這里，記者看到一條寬約5米的傳輸主通道，一輛輛自動運輸車不停穿梭，通過布滿工廠的軌道，將玻璃基板按照設計程序送入不同的區域。“顯示屏生產程序多，精細化程度高，不可能人工搬運。這里的搬運靠1000多臺自動化設備和600多個機械臂來完成。”

接下來，玻璃基板在不同區域、不同機器中穿梭，依次完成清洗、鍍膜、涂光阻、曝光、顯影、蝕刻、去光阻等100多道生產工序，被層層疊疊覆蓋十幾層“膜”，顯示屏里最核心的部分就做成了。再經過覆蓋彩色玻璃基板、填充液晶等多道工藝，做成一塊液晶顯示面板。之后，根據客戶需求，液晶顯示面板被切割成不同尺寸，然后走出TCL華星，被發往手機制造工廠。

預切割成一塊塊液晶屏

“能肉眼看見動的多半是機械手臂等傳輸設備，大多數工序都在機器設備里面完成，除了檢查玻璃基板外觀是否存在問題的環節，幾乎不需要人工操作。”工程師介紹說。這也正是“無人工廠”的特點——實現生產全過程的智能自動化，生產設備加工過程中無需專門人員值守。

讓人開眼界的，并不只是高度的智能自動化。

在TCL華星廠房里，記者發現，屋頂和地面都鋪滿了白色的隔板。仔細看，天花板和地板上都布滿了細小的孔。除了機器，廠房內看不到一根管線。

原來，地板下有架空層，管線都布放其間。這里面還有空氣凈化系統，灰塵被地板上的細孔吸入管道，經過凈化處理后排出，天花板上的細孔則送入凈化過的空氣。這一切，都是為了潔凈度,部分區域潔凈度超過ICU（重癥監護病房）。

“生產液晶面板，對潔凈度和平整度的要求極為苛刻。廠房越潔凈，生產出來的屏幕能達到的精 密度也就越高。”工程師介紹說。

這背后，是TCL華星高額的投入，特別是先進設備的投入。比如用于曝光的設備每臺高達億元以上；第6代LTPS（低溫多晶硅）液晶顯示面板生產線（t3項目）和柔性LTPS-AMOLED顯示面板生產線（t4項目）總投資達585億元。

涂布曝光機產線

更重要的是，TCL華星自組研發團隊全力研發專 利技術。2014年落戶武漢的TCL華星光電成為首 家發明專 利單年申請量突 破千件的企業。目前其發明專 利申請總量連續6年位居湖北省第 一。