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AST聚昌出廠 半導體用 電子束鍍膜機 蒸發臺
性能：專業的鍍膜玻璃生產設備，效率高，產量高
用途：用于生產鍍膜玻璃等其他
英文名：Coated glass production line
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基本信息
應用
AST聚昌科技PEVA系列高階*密電子束蒸鍍系統乃是針對Power IC ( Ti /Ni/Ag )、LED (Cr/Pt/Au ) 及MEMS等之金屬電極、透明導電膜(ITO)與光學膜( SiO2/TiO2)所設計的批式量產設備，擁有獨特的蒸鍍反應室設計，可以提供更高的產能，與更為精準、更可靠的製程需求。
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特點
AST聚昌科技Peva-900E/I系統的特點包括
(1) *佳化鍍鍋與坩鍋設計因應 Lift-Off 與低溫製程需求
(2) Run to Run膜厚均勻性可控制至＜±3%，以確保整體產品良率
(3) *佳化蒸鍍腔及排氣系統設計，可有效降低Cycle time，並提昇材料利用率（提高20%）
(4) 高通用與拆換便利性設計(可提昇至200mm大尺寸、次微米、Lift-Off 製程能力)，製程應用不受限
(5) 特殊設計的夾治具，針對薄片製程（微米），可靠度極佳
(6) *精簡地板空間，可有效提高無塵室使用空間
(7) 全自動化、智慧型PC操控系統，提高全廠自動化之需求。
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沉積室泵送系統和真空測量：
1臺CTI Torr-400，低溫泵（水為16000升/秒），16“ID ASA翻邊。
1臺CTI 9600，液氦低溫水冷壓縮機（10'He管線）
低溫泵自動*生功能。
1 AST，高真空閥3位，帶可調節流閥位置（3個位置），ASA 16“-（19”x 15“）法蘭，氣動執行機構打開/關閉。
1臺Leybold WA251和D60C，1臺羅茨泵和1臺兩級旋轉葉片泵（5000升/分鐘），ISO 63進口法蘭。
1個粗加工閥，ISO 63，波紋管密封，通過氣動執行機構打開/關閉。
1個通風閥，KF 25，波紋管密封隔離。
1個防湍流閥，直徑1/4“，用于延遲通風。
1個前線閥，KF 40，波紋管密封，通過氣動執行機構打開/關閉。
壓縮空氣分配。
1 GP 307，真空計控制器。（atm~5.0E-10托）
1 GP 274，離子測量頭（1.0E-02托~ 1.0E-09托）。
2個GP 275，帶鎢絲的Pirani頭。（atm~5.0E-04托）
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基板臺配件：
基板載體旋轉驅動器
1個適配器法蘭，ASA 10“直徑至5”直徑孔，用于PevaAST系統。
1個法蘭，ASA 3“直徑，用于連接層厚測量系統。
1個間接驅動齒輪馬達通過高性能的旋轉運動鐵流體饋通。
單基板載體轉速05~20rpm。
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基底載體
1個帶形狀的升降式穹頂
預加工，可接受總共140件2“晶圓
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工藝源配件
Telemark，電子束蒸發器，10 kW 270型
偏轉270o的光源。
角齒輪傳動基板通過坩堝指數。
水冷饋通。
X和Y掃描信號饋通。
旋轉坩堝，帶6個40毫升的凹槽。
坩堝控制裝置。
驅動電機。
遠程控制：
高壓電源裝置10 kW，帶可變高壓和光束定位控制。
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快門驅動：
氣動百葉窗驅動器90o（安裝在氣缸上的空氣流量控制）
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過程控制器/層厚測量：
Maxtek MDC-360C，層厚、速率和工藝
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控制單元：
帶有RS-232接口的過程控制。
9組材料參數的存儲空間，以及99個工藝序列和999個工藝步驟。
從材料和工藝參數開始的100個順序步驟的順序程序。
一個過程*多可重復99次。
帶6MHz振蕩器的石英傳感器。
帶冷卻水管和信號電纜。
東莞市宏誠光學制品有限公司基本信息
主營行業：儀器儀表玻璃//光學玻璃儀器儀表玻璃//儀表玻璃 公司注冊地址：東莞市茶山鎮茶山村茶南路15號 法人代表：李由根
員工人數：50-100人 廠房面積：8000 年營業額：人民幣1000萬元/年-人民幣2000萬元/年
年進口額：人民幣100萬元/年-人民幣200萬元/年 年出口額：人民幣100萬元/年-人民幣200萬元/年 主要市場：大陸,港澳臺地區,全球,
客戶群：富士康 華維
公司名稱:東莞市宏誠光學制品有限公司
注冊資本:人民幣200萬元/年-人民幣500萬元/年 公司網址：http://hcgxcy.glass.com.cn主營產品：二次元影像測量儀,工業變倍鏡頭,標定板,分辨率板,校準玻璃線紋尺,玻璃菲林尺子,面補,分光鏡片,反光鏡,棱鏡,透鏡,平行平晶,平面平晶,光學玻璃工作臺,投影屏,Z軸測試儀 公司成立年份：2010
公司網址：http://hcgxcy.glass.com.cn
產品屬性：
計量單位：臺 供貨總量：10 最小起訂量：1 產品單價：45000.00 品牌： 規格型號： 包裝說明：
員工人數：50-100人 廠房面積：8000 年營業額：人民幣1000萬元/年-人民幣2000萬元/年
年進口額：人民幣100萬元/年-人民幣200萬元/年 年出口額：人民幣100萬元/年-人民幣200萬元/年 主要市場：大陸,港澳臺地區,全球,
客戶群：富士康 華維
公司名稱:東莞市宏誠光學制品有限公司
注冊資本:人民幣200萬元/年-人民幣500萬元/年 公司網址：http://hcgxcy.glass.com.cn主營產品：二次元影像測量儀,工業變倍鏡頭,標定板,分辨率板,校準玻璃線紋尺,玻璃菲林尺子,面補,分光鏡片,反光鏡,棱鏡,透鏡,平行平晶,平面平晶,光學玻璃工作臺,投影屏,Z軸測試儀 公司成立年份：2010
公司網址：http://hcgxcy.glass.com.cn
產品屬性：
計量單位：臺 供貨總量：10 最小起訂量：1 產品單價：45000.00 品牌： 規格型號： 包裝說明：
AST聚昌出廠 半導體用 電子束鍍膜機 蒸發臺產品概況
光學透明材料具有質量輕、耐沖擊強度高、易于加工成型等優良特點，最常見的光學透明材料-有機玻璃(PMAA)是應用于航空透明件最為廣泛的材料之一，可加工制作成大尺寸、多曲率、視野寬闊的前風擋及座艙航空透明件，還包括各型復雜曲率的機身觀察窗、燈罩及各式儀表蓋等等；隨著科學技術的進步，航空器隱身技術的發展，以及未來電子電磁對抗，實現電磁屏蔽功能的需要，有機玻璃透明件作為機身的重要組成構件之一，也必須實現隱身功能，以適應未來的戰爭環境。因此，在有機光學材料特別是航空有機玻璃表面鍍制各類導電膜層，是實現航空透明件隱身的重要手段之一。長期以來，由于航空有機玻璃的耐溫點低，無法達到鍍制功能膜所需高溫，常規的真空磁控濺射工藝難以實現，加工制造難度非常大，所以有機玻璃表面導電功能膜系的制造必須采用特種工藝進行鍍制。為解決這一關鍵技術障礙，經過公司技術人員努力，采用了低溫直流輝光等離子真空磁控濺射技術，在高等級潔凈凈化室內，成功的在低溫基片上制備出高質量的各類導電膜系。各類導電膜系具有透光性好，膜層致密，膜層阻值均勻，耐磨性能好等優點。