供應大面積AZO透明導電膜磁控濺射鍍膜生產線

產品型號

HD-JCL-Z1400A

產品介紹

AZO膜生產線共設計有七個真空腔體部分，靠前部分為進口室，第二部分為進口緩沖室，第三部分為進口傳送室，第四部分為工藝室，第五部分為出口傳送室，第六部分為出口緩沖室，第七部分為出口室；兩對采用PCU04閉路環控制的中頻孿生Si靶，形成高質量的隔離SiO2層；十對圓柱AZO靶，實現高質量的AZO透明導線膜；設備設計加工尺寸為寬1100mm，長1400mm的平面基板材料，生產加工周期可優化到100－180秒；生產線采用分子泵抽氣形成氣氛隔離的先進設計，生產線采用渦輪浮分子泵以獲得的隔離、穩定的抽速和均勻的氣體分布。

生產線技術特點

（1）設備類型：臥式連續磁控濺射鍍膜線（2）鍍膜基片架尺寸：按照1×1100mm（W）×?1400mm(L)×3mm基片設計；（4）膜層均勻性設計要求：在有效沉積區域內，膜層厚度均勻性≤±5％；（6）陰極結構設計要求：采用中頻孿生旋轉陰極，初步確定靶規格為135mm×1400mm；（7）設備傳動方式：采用雙摩擦傳動的臥式小車裝載進片方式（不采用滾輪設計）；（8）鍍膜工藝實現方式：采用ZnO：Al陶瓷靶，采用反應濺射沉積工藝；（9）鍍膜溫度控制：采用不銹鋼鎧裝加熱裝置（可以按客戶要求采用燈管加熱），較高溫度為350℃，按照常溫～400℃可以任意設定設計，控制穩定度為±5℃；（10）控制系統要求：控制系統能實現人、機對話，及時對生產過程進行必要干預。運行過程有報警提示和故障顯示，故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。

技術參數

1）極限真空壓力：6×?1?0E-4?Pa2）平均生產周期：80－180?秒／架3）基片架尺寸：1100?mm×?1400mm（可以根據要求定做）4）膜層均勻性：±5%

成功案例

中國建筑材料集團

湖南湘潭宏大真空設備有限公司成立于2000年，集研發、設計、生產、銷售于一體，有經驗從事真空鍍膜設備及其零部件制造。歷經十余載的經營發展，公司已成功躋身重要高新技術企業之林，在真空設備行業的同類產品中，宏大真空的市場占有率已達到90%以上，成為國內行業帶領企業，并帶領中國真空鍍膜設備制造業的發展。公司主營產品：建筑裝飾玻璃連續鍍膜生產線，平板顯示導電膜玻璃連續鍍膜生產線，非晶硅薄膜太陽能電較連續鍍膜生產線，裝飾連續鍍膜生產線，各種單體和雙室真空鍍膜機等六大系列20余種產品。其核心產品已通過國家真空設備質量監督檢驗中心檢驗，擁有單獨的自主知識產權，不斷刷新著中國真空鍍膜設備的發展里程。作為中國乃至亞太地區非常大的真空鍍膜設備生產基地，宏大真空公司已成為中國南玻集團、中國建筑材料集團、信利半導體有限公司、華光集團等國內知名公司長期戰略合作伙伴，為其提供多條連續鍍膜生產線。不僅如此，公司產品遠銷美國、德國、新加坡、馬來西亞等國家和地區，并逐步加強與德國萊寶、德國馮﹒阿登納、美國應用材料、日本光馳等較有優勢企業的技術交流和溝通，在大部分國家真空鍍膜設備制造領域已具備趕超世界高等的水平.研發創新多條真空鍍膜生產線的成功經驗的真空成套設備設計制造技術團隊成熟的鍍膜工藝方案有經驗的安裝和售后服務隊伍宏大真空，精益求精制造世界高等真空鍍膜設備。

主營產品：建筑裝飾玻璃連續鍍膜生產線,平板顯示導電膜玻璃連續鍍膜生產線,非晶硅薄膜太陽能電較連續鍍膜生產線,裝飾連續鍍膜生產線,雙室真空鍍膜機,單體,雙室真空鍍膜機,多弧離子鍍膜機 公司成立年份：2003
公司網址：http://hdzksb.glass.com.cn

供應大面積AZO透明導電膜磁控濺射鍍膜生產線

光學透明材料具有質量輕、耐沖擊強度高、易于加工成型等優良特點，最常見的光學透明材料-有機玻璃(PMAA)是應用于航空透明件最為廣泛的材料之一，可加工制作成大尺寸、多曲率、視野寬闊的前風擋及座艙航空透明件，還包括各型復雜曲率的機身觀察窗、燈罩及各式儀表蓋等等；隨著科學技術的進步，航空器隱身技術的發展，以及未來電子電磁對抗，實現電磁屏蔽功能的需要，有機玻璃透明件作為機身的重要組成構件之一，也必須實現隱身功能，以適應未來的戰爭環境。因此，在有機光學材料特別是航空有機玻璃表面鍍制各類導電膜層，是實現航空透明件隱身的重要手段之一。長期以來，由于航空有機玻璃的耐溫點低，無法達到鍍制功能膜所需高溫，常規的真空磁控濺射工藝難以實現，加工制造難度非常大，所以有機玻璃表面導電功能膜系的制造必須采用特種工藝進行鍍制。為解決這一關鍵技術障礙，經過公司技術人員努力，采用了低溫直流輝光等離子真空磁控濺射技術，在高等級潔凈凈化室內，成功的在低溫基片上制備出高質量的各類導電膜系。各類導電膜系具有透光性好，膜層致密，膜層阻值均勻，耐磨性能好等優點。